飛秒激光雙光子二維并行微細(xì)加工的研究.pdf

1、作為一種新型的激光成型技術(shù)，飛秒激光雙光子微細(xì)加工具有真三維的制作能力和亞微米的加工分辨率等技術(shù)特點(diǎn)，在MEMS研究領(lǐng)域受到越來(lái)越廣泛的重視。由于該技術(shù)的加工效率較低，無(wú)法滿足MEMS批量加工的要求，因此，并行加工已經(jīng)成為該技術(shù)發(fā)展的瓶頸。本文結(jié)合國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目——飛秒激光功能微部件加工技術(shù)研究(No.50335050)的主要研究?jī)?nèi)容，搭建了飛秒激光雙光子微細(xì)并行加工實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，初步實(shí)現(xiàn)了飛秒激光二維并行微細(xì)加工。本文的主要成果如下

2、： 首先，在總結(jié)國(guó)內(nèi)外研究方法的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)并加工微透鏡陣列，將其用于飛秒激光加工系統(tǒng)上，實(shí)現(xiàn)分束聚焦，多焦點(diǎn)并行加工。自行設(shè)計(jì)、搭建飛秒激光并行微細(xì)加工系統(tǒng)，成功實(shí)現(xiàn)了不同材料的二維字母結(jié)構(gòu)的并行加工。同時(shí)對(duì)系統(tǒng)加工一致性，分辨率進(jìn)行分析。 其次，針對(duì)系統(tǒng)加工一致性，提出激光光束勻化整形的解決方法。設(shè)計(jì)了兩種勻化整形的二元光學(xué)器件，對(duì)其整形效果進(jìn)行理論仿真，計(jì)算了其衍射效率。為進(jìn)一步提高并行加工系統(tǒng)加工效率，提高能量利