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文檔簡介
1、半導體制造投資巨大,尤其是設備成本極其昂貴,因此,如何提高設備利用率一直是企業(yè)關注的焦點。國際半導體設備與材料組織在其制度的SEMI標準中提供了一種很好的計算設備效率的方法,稱為設備整體效率。設備整體效率是一個獨立的測量工具,它用來表現(xiàn)實際的生產(chǎn)能力相對于理論產(chǎn)能的比率,它考慮了設備所有的運行情況,計算方便準確,彌補了傳統(tǒng)計算效率方法的不足,得到了廣泛的應用。但是從目前來看,獲得設備整體效率中的某些參數(shù)不準確,且費時費力,所以本文主要針
2、對這個情況設計了一個生產(chǎn)設備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)來解決這個問題。
本文所研究的生產(chǎn)設備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)的主要功能是為工業(yè)工程部門計算設備整體效率提供重要參數(shù),即設備每小時的理論產(chǎn)量。本文分析了工業(yè)工程部門在估算產(chǎn)能方面的職能,半導體的行業(yè)背景,半導體技術及發(fā)展趨勢,半導體制造流程以及半導體相關的計算機集成制造系統(tǒng)。接下來,本文在分析生產(chǎn)設備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)主要功能的基礎上,重點研究的是生產(chǎn)設備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)的架構、主要功能模塊、采用的關鍵技術。
3、最后,本文以具體設備為例分析了生產(chǎn)設備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)是如何通過數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析、數(shù)據(jù)導入、數(shù)據(jù)計算這四個模塊得出設備的每小時理論產(chǎn)量,并說明其具體應用。
生產(chǎn)設備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)的應用,為計算設備整體效率提供了有效數(shù)據(jù),為監(jiān)控全廠設備的使用情況提供了實時、全面的數(shù)據(jù),并且大大減少了人為的數(shù)據(jù)收集、數(shù)據(jù)分析的工作量。企業(yè)因此可以輕松的找到影響生產(chǎn)效率的瓶頸,將關注點放于重點設備并進行改進和跟蹤,達到提高生產(chǎn)效率的目的,同時使公司避免
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