[雙語翻譯]外文翻譯--樹脂粘度與壓印壓力模式之間的相關關系（譯文）

1、中文 中文 2800 字， 字，1800 英文單詞， 英文單詞，9800 英文字符 英文字符文獻出處： 文獻出處：Jang S, Lee J G, Lee H. Correlation between resin viscosity and imprinting pressure mode[J]. Electronic Materials Letters, 2013, 9(6):793-796.樹脂粘度與壓印壓力模式之間的相關關系Si

2、youl Jang，Jae-Gab Lee 和 Heon Lee機械和自動化工程學院，kookmin 大學，首爾 136-702。韓國國民大學韓國先進材料工學院 136702 韓國韓國先進材料工程學校韓國大學韓國首爾 136-701 韓國（收到日期：2012 年 10 月 13 日/接受日期：2013 年 7 月 9 日/發(fā)布日期：2013 年 11 月 10 日）摘要： 摘要：期間的變化通過改變樹脂粘度和印跡壓力模式來

3、研究印跡過程。 如果要求壓印過程達到所建議的剩余樹脂厚度或開口水平，則應根據壓印壓力的大小和速率 指定適當的工藝周期，因為剩余層厚度（RLT）受這些因素的顯著影響。此外，樹脂粘度對 RLT 變化的影響與印刻壓力模式相同。使用具有圖案密度為 12.03％的重復橢圓突起的模具進行數值模擬，以確定所考慮的過程因素對壓印過程周期的影響。關鍵詞： 關鍵詞：剩余層厚度，壓印壓力，潤滑，開口水平 1 引言 引言印刷廣泛應用于各種制造工藝中，

4、近年來大量生產應用中其生產效率的重要性日益突 出。已經通過實驗證明，uv 壓印的處理時間取決于樹脂粘度，以及 uv 固化之前壓印壓力的 大小和速率。（壓力模式）的殘留層厚度（rlt），樹脂粘度和壓印壓力模式是決定加工時間 的主要工藝因素。[1]特別是樹脂的粘度不僅直接影響模具設計的圖案密度和突起比，而且還 會影響壓印模式，在亞微米級紫外線高壓粘合樹脂的薄膜狀態(tài)下，流動阻力很高，這是由于 薄膜機制，保證高壓印壓力，最終導致霉變。[2]特

5、別是在零殘留層壓印時，壓印壓力保持很 長時間，從而增加了模具變形的可能性。避免這種情況，模具尺寸應該更小，它的一致性必 須提高，以形成均勻性。[3-6]關于 uv 樹脂在模腔中的粘性行為必須增加順應性，大多數模擬研究僅僅選擇了不變的 壓印速度，恒定的施加壓印壓力和恒定的力，這對于面印記系統(tǒng)是不可能的。[6]作為對應作 者的窗口打開過程，由達到零 rlt 的壓印壓力和樹脂粘度兩者所控制，可以通過改變所施加 的壓印壓力來操縱。但是，一旦

6、設備啟動，大多數壓印機都不能在直接模式下施加所需的壓 印壓力。在最近的模擬研究過程[6-7]中，壓印壓力逐漸增加到其最終值。通過考慮優(yōu)化模具表面 上的凹凸分布來計算壓印過程中的變化。樹脂粘度是最重要的印記過程參數之一，在薄膜狀 態(tài)下被認為是非常高的，例如-10spas 的數值分析。在本研究中，使用重復 2-d 模式特征，模擬了基于壓印模式和樹脂粘度的樹脂壓力發(fā)展和在壓印過程中的變化。結果顯示在不同印跡條件下 rlt 變化有明顯差異。

7、2 在紫外壓印系統(tǒng)中不同的樹脂粘度下的變化 在紫外壓印系統(tǒng)中不同的樹脂粘度下的變化樹脂粘度被控制到很?。?10mpas），以便確保腔體的快速和完全填充以及在短的處 理時間內將樹脂分配在基板上。但是，由于薄膜效應，目標具有非常高的粘度（例如-10“帕）， 為了在薄膜狀態(tài)下達到壓印樹脂粘度的適當值，[9]可以測量 rlt 作為固定施加載荷下的印刷 處理時間的函數如果毛細管力在相對較高的壓印壓力下不占優(yōu)勢，則樹脂粘度成為控制壓印 時間的主

8、要因素之一。[3] 如果毛細管力在相對較高的壓印壓力下不占主導地位，則樹脂粘度成為控制壓印時間的主要因素之一，rlt 由 Stephens 公式（1）[3]表示，i 不穩(wěn)定壓印壓力，其中 h0，η0，s 和 p 分別 是初始樹脂層，零剪切粘度，突起部分和壓印壓力。該方程表明樹3 rlt rlt 和流體樹脂壓力發(fā)展的計算結果 和流體樹脂壓力發(fā)展的計算結果具有亞微米級的薄膜的粘度增加 3-5 級?；谝郧暗难芯縖6-9]結果，“我們

9、選擇 104-105 帕范圍內的粘度輸入值，以清晰地顯示壓印過程中的 rlt 變化，通過使用公式（2）-（4）計 算當前模具圖案的變化，我們發(fā)現在更高的粘度下需要更多的時間才能達到零點，并且更高 的壓印壓力導致 rlt 更快地下降。另外，10.0 巴壓印瞬時速率（即壓力時間）影響熱變化， 最終決定（圖 2），此外，在相同的壓印壓力下，薄膜狀態(tài)下的粘度具有相當大的電子能力（圖 3）圖 2.10.0 巴和 1.0×10