基于AAO的標(biāo)準(zhǔn)漏孔制作及其性能研究.pdf

1、標(biāo)準(zhǔn)漏孔是真空計量技術(shù)的標(biāo)尺，它的性能直接影響著真空測量和真空檢漏結(jié)果的準(zhǔn)確性。目前，常用的通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在著形狀尺寸不可控、漏率不確定、漏孔中氣體多處于復(fù)雜過渡流等問題，這些問題的存在導(dǎo)致無法對檢漏儀和真空計進(jìn)行準(zhǔn)確的標(biāo)定和校準(zhǔn)。
　　針對傳統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在的問題，本文提出了利用陽極多孔氧化鋁模板(anodicaluminum oxide，AAO)結(jié)合掩模輔助鍍膜方法制備新型分子流標(biāo)準(zhǔn)漏孔的方案。AAO是微納加工中常用的一種納米

2、級多孔材料，其中單個孔的直徑在100urn以下，本文通過掩模輔助鍍膜方法對AAO進(jìn)行了二次鍍膜處理，并利用光學(xué)顯微鏡對鍍膜結(jié)果進(jìn)行了觀察，實驗結(jié)果表明通過采用不同尺寸的掩模板可以制備出具有不同有效面積即不同通道數(shù)目的AAO。然后，我們利用自行設(shè)計搭建的差壓法漏孔校準(zhǔn)裝置，以氦氣(He)、氮氣(N2)、氬氣（Ar）為實驗氣體對鍍膜后的AAO封裝形成的標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率和流導(dǎo)進(jìn)行了測量。實驗結(jié)果表明:(1)對于不同有效面積封裝形成的漏孔，漏孔流