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文檔簡介
1、以(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3(PMNT)為代表的鈣鈦礦鐵電固溶體在準(zhǔn)同型相界（MPB）組分附近具有優(yōu)良的壓電及機(jī)電耦合響應(yīng)性能，在傳感器、換能器等方面具有重要的應(yīng)用前景。但是，這一類體系存在著居里溫度、相變溫度較低的問題（如MPB組分PMNT居里點(diǎn)~150 ℃，三方至四方相變溫度小于100 ℃），限制了其在微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）和熱釋電探測器等領(lǐng)域的應(yīng)用，提升居里溫度、拓寬溫度使用范圍已成為該材料應(yīng)用
2、的關(guān)鍵。
本文提出將PMNT與二元氧化物進(jìn)行復(fù)合，通過制備鐵電復(fù)合薄膜，調(diào)控其微觀晶格應(yīng)變來拓寬其溫度范圍，從而促進(jìn)其實(shí)際應(yīng)用。通過篩選確立了MgO作為復(fù)合組元，利用傳統(tǒng)的固相反應(yīng)法制備了具有純的相結(jié)構(gòu)及高致密度的PMNT與MgO（摩爾比為1:1）的復(fù)合靶材。在此基礎(chǔ)上，利用脈沖激光沉積法在<001>、<110>、<111>取向的SrTiO3單晶襯底上制備SrRuO3底電極外延薄膜，并進(jìn)一步基于SrRuO3/SrTiO3制備了
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