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文檔簡介
1、真空紫外波段的應用在表面物理研究、宇宙物理、生命科學、半導體光刻技術等方面有著極為重要的作用。真空紫外反射薄膜作為重要光學器件組成部分,應用十分廣泛。 本文分析了表面粗糙度對薄膜反射率的影響,使用原子力顯微鏡(AFM)測得了薄膜表面圖像,并利用分形法對該圖像進行了計算,給出了新的薄膜表面粗糙度的評價依據(jù);根據(jù)菲涅爾公式建立單層金屬膜反射率的計算模型,計算了最佳反射率設計值;利用離子束濺射沉積法制備了一批金反射膜樣片,深入研究了真
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