用于冷陰極場(chǎng)發(fā)射器件的高壓脈沖電源的研制.pdf

1、目前,高壓脈沖技術(shù)在冷陰極場(chǎng)致發(fā)射、等離子技術(shù)、化工、廢水處理等方面的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,對(duì)高壓脈沖電源的性能指標(biāo)的要求也越來(lái)越高。脈沖技術(shù)正在向著更高電壓、更高頻率、更窄的脈沖寬度、更高功率、更低成本、更小的體積和重量的方向發(fā)展。 絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)問(wèn)世以來(lái),在脈沖功率技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用,它具有耐壓高,飽和電流大,響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。目前市場(chǎng)上的IGBT額定耐壓只有1200V-3200V左右,雖然ABB等公司6500V的

2、IGBT產(chǎn)品已經(jīng)面世,但是其價(jià)格昂貴,且開關(guān)損耗大,開關(guān)速度與低壓IGBT產(chǎn)品相比有明顯的下降。因此,串聯(lián)IGBT技術(shù)深受國(guó)內(nèi)外研究人員的重視,但是現(xiàn)有技術(shù)尚有很多不足,例如結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本太高、可靠性差等。 本論文主要研究了一種新型的基于串聯(lián)IGBT互補(bǔ)開關(guān)結(jié)構(gòu)的高壓脈沖電源。該脈沖電源采用多個(gè)IGBT串聯(lián),提高脈沖主回路開關(guān)的耐壓等級(jí)；利用互補(bǔ)開關(guān)結(jié)構(gòu),增強(qiáng)了脈沖電源的驅(qū)動(dòng)能力,脈沖電源最高輸出電壓為10000V,脈沖寬度可調(diào)