掃描電子顯微成像及電子能譜的模擬研究.pdf

1、 我們研究了掃描電子顯微的主要信號成像、背散射電子能譜和反射電子能量損失譜。所采用的電子在固體中的MonteCarlo散射模型是：彈性散射利用的是Mott微分截面，而非彈性散射利用的是基于實驗光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)的介電函數(shù)近似，并且在模擬中包含了級聯(lián)二次電子的產(chǎn)生?！　?在掃描電子顯微成像模擬的研究中，我們采用實體結(jié)構(gòu)幾何法模型構(gòu)造較為復(fù)雜的樣品結(jié)構(gòu)，即將一般的空間上和化學(xué)組分上非均勻樣品分解為含有均勻組分的簡單構(gòu)造體。然后對一

2、般的適用于均勻樣品的步長抽樣算法做了修正，使得可以應(yīng)用于含有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的樣品。借鑒圖像學(xué)中的光線追蹤算法，得到了一系列模塊化的電子運動與各種常見的構(gòu)件體的求交算法。在此基礎(chǔ)上再對電子散射的MonteCarlo模擬程序進行了幾種并行化處理，使之可以在各種不同的并行計算機上高效運行。 對若干理想構(gòu)造樣品和實際Pt/C催化劑體系樣品，我們模擬了掃描電子顯微中的二次電子和背散射電子成像，探討了成像襯度產(chǎn)生機理,在反射電子能量損失譜的研究中