電子顯微鏡分析及研究

1、1蔡司蔡司EVO18電鏡分析電鏡分析三儀器概述三儀器概述3.1.總體描述總體描述：蔡司最新推出的EVO18具有處理所有類型材料能力的分析顯微鏡為您提供卓越的成像質(zhì)量。配備X射線能譜儀接口，并有領(lǐng)先的X射線幾何條件對(duì)所有樣品提供了最精確的分析。對(duì)于非導(dǎo)體采用電子束襯管技術(shù)也提高了圖像質(zhì)量和分析精度。掃描電子顯微鏡（SEMScanningelectronmicroscope）的電子束不穿過樣品，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行

2、一行地掃描樣本。入射的電子導(dǎo)致樣本表面被激發(fā)出次級(jí)電子。顯微鏡觀察的是這些每個(gè)點(diǎn)散射出來的電子，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級(jí)電子，通過放大后調(diào)制顯像管的電子束強(qiáng)度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度。顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描，這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像，這與工業(yè)電視機(jī)的工作原理相類似。由于這樣的顯微鏡中電子不必透射樣本，因此其電子加速的電壓不必非常高。掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電

3、子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比，可從幾3●大的樣品臺(tái)移動(dòng)范圍●電子束襯管用于增強(qiáng)成像與分析●用可選的LaB6電子源進(jìn)行高性能成像3.2掃描電子顯微鏡的成像原理掃描電子顯微鏡的成像原理掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應(yīng)用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對(duì)圖象象元掃掠的工作過程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來完成的，只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有

4、差異而已。在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做行掃描或稱作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對(duì)于1000條線的掃描圖象來說，速度比為1000。電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西，在微觀世界中，這個(gè)微也就不稱其微，我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位，及1nm=106mm。掃描電鏡成像過程與電視