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1、本論文的目的是研究石英微晶探測(cè)器的性能，并探討超聲對(duì)結(jié)晶的影響。 石英微晶探測(cè)器是利用石英的振蕩頻率隨著在其表面結(jié)晶的晶體生長而漂移的原理，通過測(cè)量頻率漂移來精確監(jiān)測(cè)晶體生長的。本文首先較系統(tǒng)的建立了四種探測(cè)器的理論模型，即簡(jiǎn)諧振子模型、聲傳輸線模型、等效電路模型及有限元模型，計(jì)算了石英晶體共振頻率與結(jié)晶厚度之間的關(guān)系。然后我們?cè)趯?shí)驗(yàn)室建立了一套石英微晶探測(cè)器的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，它由石英探測(cè)器、信號(hào)采集與處理電路板及微機(jī)數(shù)據(jù)采集與處
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