2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩65頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、TiO2經(jīng)過(guò)幾十年來(lái)的專(zhuān)家和學(xué)者的研究,使其成為材料應(yīng)用中金屬氧化物的一顆新星,由于其特殊的抗環(huán)境腐蝕能力、化學(xué)穩(wěn)定性好、生物相容性好、價(jià)廉易得等特點(diǎn),在新能源、新材料、環(huán)境、醫(yī)藥等領(lǐng)域表現(xiàn)出良好的應(yīng)用前景,如水解制氫、空氣與水凈化、光伏電能轉(zhuǎn)換等。
  本文主要從脈沖調(diào)制技術(shù)入手,參考最年來(lái)的學(xué)者利用脈沖調(diào)制技術(shù)得到的新的等離子體放電特性,操控其優(yōu)勢(shì)特性來(lái)產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體,從而借助化學(xué)氣相的干法刻蝕沉積原理來(lái)構(gòu)造具有三維空間的

2、TiO2薄膜,試驗(yàn)主旨是操控脈沖調(diào)制技術(shù),變換各類(lèi)沉積參數(shù),獲得各種形貌差異和光學(xué)特性差別的薄膜,并且TiO2薄膜形貌三維構(gòu)造明顯,調(diào)控的沉積參數(shù)主要有氣壓、基片溫度、上下電極距離、功率、以及脈沖調(diào)制占空比,摸索參數(shù)上的差別,對(duì)比種種形貌差異和性能優(yōu)劣。
  首先,利用工業(yè)化設(shè)計(jì)的沉積系統(tǒng),成功產(chǎn)生了穩(wěn)定性好、放電強(qiáng)度高、大尺度均勻脈沖調(diào)制射頻輝光放電等離子體。
  其次,通過(guò)試驗(yàn)測(cè)量Ar/O2/TiCl4放電體系的電流-電

3、壓(I-V)關(guān)系曲線(xiàn)和發(fā)射光譜,研究了脈沖調(diào)制射頻等離子體在不同功率、氣壓、占空比、以及O2和TiCl4流量下的放電特性。試驗(yàn)主要嘗試了Ar/O2/TiCl4放電體系輔助以操控脈沖調(diào)制技術(shù),獲得放電體系穩(wěn)定性好,放電強(qiáng)度高,射頻放電特性幾乎沒(méi)有改變,其放電電流和電壓的曲線(xiàn)近似于正弦曲線(xiàn),且放電電流相位領(lǐng)先于放電電壓,這是典型的輝光放電特性。比較了不同氣壓下電流電壓曲線(xiàn)峰峰值的差異峰值。同時(shí),低氣壓下,放電功率的提升導(dǎo)致電流峰峰值提高,而

4、電壓峰峰值幾乎不變。恒定功率下,脈沖調(diào)制占空比的減小導(dǎo)致電流峰峰值的減小,而電壓峰峰值幾乎不變。研究了Ar以及O2典型的等離子體發(fā)射光譜中特征譜線(xiàn)Ar I763 nm,811 nm,912 nm及O I777 nm和O844 nm強(qiáng)度的變化,結(jié)果表明,較高的功率,優(yōu)化的O2和TiCl4流量比,有利于Ar和O原子高能激發(fā)態(tài)的生成,以及TiO2的化學(xué)氣相沉積和結(jié)晶。
  最后,研究了基片溫度,電極間距,功率,氣壓以及脈沖調(diào)制占空比等制

5、備參數(shù)的變化對(duì)TiO2薄膜形貌以及結(jié)晶的影響,探討了不同形貌和性能的TiO2三維結(jié)構(gòu)薄膜的形成機(jī)理。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,脈沖調(diào)制技術(shù)減少射頻連續(xù)放電所帶來(lái)的熱積累效應(yīng),適合制備大面積均勻的TiO2的薄膜。當(dāng)放電電極間距減小,薄膜結(jié)構(gòu)由網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)槿S片狀晶體結(jié)構(gòu)?;訜岷螅訌?qiáng)了薄膜粘附性能和結(jié)晶度。常壓下,射頻功率的提高,有效地改變了TiO2三維結(jié)構(gòu)薄膜形貌,增加了比表面積。常壓下的高功率有助于大尺寸的晶體生長(zhǎng),但得到的晶體排列均勻性較

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論