等離子體化學氣相沉積合成石英玻璃的基礎研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研究開發(fā)了以高頻等離子體作為熱源，用化學氣相沉積法合成高純石英玻璃的實驗裝置。實驗結果表明，作為一種高溫純凈的熱源，高頻等離子體能夠提供一個氣氛潔凈的高溫反應環(huán)境，在合成高純石英玻璃方面具有獨特優(yōu)勢。設計開發(fā)的高頻等離子體感應設備的陽極電壓范圍為10.5～11.5KV，相應的保護氣體氧氣流量為8～10Nm3/h，工作氧氣流量為3～5Nm3/h，火焰尾焰的溫度場穩(wěn)定。 液滴生長凝聚動力學的分析表明，等離子體化學氣相沉積過程中的

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