浸沒(méi)式光刻微環(huán)境氣體參數(shù)控制及制備系統(tǒng)研制.pdf

1、⑧論文作者簽字：墮蠻遑指導(dǎo)教師簽字：益圣論文評(píng)閱人1：匿名評(píng)閱人2：匿名評(píng)閱人3：匿絲評(píng)閱人4：評(píng)閱人5：答辯委員會(huì)主席：墓壹薟3塾拯∑逝婆三些太堂委員1：進(jìn)漁遺3熬拯!逝江太堂委員2：邀l旦叢：堊∑塾拯3逝選盤(pán)堂委員31重要3副數(shù)拯3逝江太堂委員4：翅毫!亙!!熬拯3逝選太堂委員5：浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文致謝致謝本文是在我的導(dǎo)師胡亮副教授和陳文昱副研究員的悉心指導(dǎo)下完成的。感謝我的導(dǎo)師胡亮副教授能給予我進(jìn)入浸沒(méi)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室攻讀我的碩士研究

2、生學(xué)位這一寶貴機(jī)會(huì)，我的研究生階段所學(xué)到的一切知識(shí)以及開(kāi)展的一切研究都是建立在此條件之上的。在浸沒(méi)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室這三年左右的時(shí)間里，胡亮副教授在工作中一絲不茍、兢兢業(yè)業(yè)，耐心指導(dǎo)學(xué)生開(kāi)展科學(xué)研究，從他身上我學(xué)3到許多寶貴的品格；感謝陳文昱副研究員在日常工作中耐心的指導(dǎo)，本文的順利完成離不開(kāi)陳文昱副研究的耐心點(diǎn)撥；感謝課題組的傅新教授、阮曉東教授和劉偉庭副教授，為我研究生階段的學(xué)習(xí)創(chuàng)造了良好的科研環(huán)境。感謝徐寧師兄對(duì)我課題進(jìn)展的關(guān)心并提出了許

3、多寶貴的意見(jiàn)，感謝已經(jīng)畢業(yè)的浸沒(méi)式光刻前端的李星師姐、陳伊驊、馮浩、邵佳浩師兄，是你們指引著我逐步開(kāi)展課題研究；感謝項(xiàng)目組的于志偉師弟，本課題的順利推進(jìn)直至完成離不開(kāi)于志偉師弟的幫助；感謝一同進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的卞行健、劉東陽(yáng)、曹飛飛、梁建彬、簡(jiǎn)勇華、虞謙、韓婷婷、張亞、趙煒煒、趙楠楠，感謝你們平時(shí)對(duì)我工作的支持及幫助，使我的研究生生活豐富多彩；感謝課題組的李文斌、曾強(qiáng)輝、許妍、凌杰、王培磊、袁含晨等其他成員對(duì)我的關(guān)心和幫助。感謝陳玲境，給我研