精密氣浮工作臺(tái)多體動(dòng)力學(xué)仿真與動(dòng)態(tài)特性優(yōu)化.pdf

1、光刻機(jī)是集成電路制造業(yè)中的關(guān)鍵設(shè)備，精密氣浮工作臺(tái)作為光刻機(jī)的關(guān)鍵子部件，其工作性能直接決定了光刻機(jī)的工作性能，因此對(duì)工作臺(tái)進(jìn)行研究具有重要意義。本文重點(diǎn)研究了光刻機(jī)精密氣浮工作臺(tái)的氣浮軸承特性、工作臺(tái)的多體動(dòng)力學(xué)建模與仿真，并基于此對(duì)工作臺(tái)的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行了優(yōu)化。
　　本文首先基于可壓縮潤(rùn)滑理論，確定了氣浮軸承氣膜模型的參數(shù)與三維模型；使用前處理軟件ANSYS ICEM CFD及流體仿真軟件FLUENT，在不同參數(shù)條件下對(duì)模型進(jìn)行

2、了結(jié)構(gòu)性網(wǎng)格劃分及仿真，計(jì)算模型的壓力分布，得到氣浮軸承的承載力；重復(fù)上述過(guò)程，建立氣浮軸承在不同工況下的承載特性數(shù)據(jù)庫(kù)。介紹了精密氣浮工作臺(tái)的體系結(jié)構(gòu)，基于氣浮軸承的承載特性數(shù)據(jù)及其它相關(guān)數(shù)據(jù)成功建立了工作臺(tái)的多體動(dòng)力學(xué)模型，計(jì)算分析了工作臺(tái)的固有頻率與振型，仿真得到工作臺(tái)在步進(jìn)掃描過(guò)程中的動(dòng)態(tài)特性。
　　參數(shù)化多體動(dòng)力學(xué)模型，創(chuàng)建模型的設(shè)計(jì)變量與目標(biāo)變量，編寫(xiě)目標(biāo)變量評(píng)價(jià)程序。組建優(yōu)化仿真模塊，使用計(jì)算機(jī)輔助優(yōu)化設(shè)計(jì)軟件Isi