合金薄膜傳感器測量切削力技術(shù)的研究.pdf

1、切削力作為一個重要的監(jiān)測信號直接反映了切削加工過程中刀具的切削狀態(tài),能實時準確地獲取切削過程中的切削力信號對改進切削方式、提高切削質(zhì)量具有重要意義。而現(xiàn)代切削加工正在向高速、高效、強力切削、精密及超精密加工方向發(fā)展,傳統(tǒng)切削測力儀已難以適應現(xiàn)代切削加工的動態(tài)環(huán)境,研究開發(fā)實時的、高精度的、高效的切削力測力系統(tǒng)是近幾年切削測力儀研究中的主要課題。
　　近年來薄膜傳感器技術(shù)越來越成熟,已被廣泛應用到各個不同的領(lǐng)域中,也為應變式切削測力

2、儀的發(fā)展提供了一個新的突破口。在前人研究的基礎(chǔ)上,本文首先探討了應變式傳感器工作的基本原理,設(shè)計了一種新型的合金薄膜傳感器單元,此傳感器單元可直接用于切削力的測量;研究了傳感器單元各層的材料和尺寸,并構(gòu)建了一個刀具切削力測量系統(tǒng),對其進行了理論分析,得出了測量系統(tǒng)的輸出公式。
　　為研究合金薄膜的壓阻特性,用ansys軟件建立了簡化的懸臂梁傳感器模型,探討了用 ansys12.0軟件進行壓阻耦合場分析的可行性,研究了合金薄膜厚度、