批間控制器性能評(píng)估算法研究.pdf

1、半導(dǎo)體制造業(yè)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)、社會(huì)發(fā)展和國(guó)家安全中處于重要的戰(zhàn)略地位，促進(jìn)了經(jīng)濟(jì)的持續(xù)增長(zhǎng)，推動(dòng)了信息產(chǎn)業(yè)的（通信、計(jì)算機(jī)、信息家電以及網(wǎng)絡(luò)技術(shù)）發(fā)展。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，控制器性能的優(yōu)劣直接關(guān)系到晶圓的質(zhì)量，然而控制器的性能會(huì)隨著時(shí)間推移而退化，要保證生產(chǎn)過(guò)程安全、高效、低耗的運(yùn)行，必須在控制回路中加入性能監(jiān)控與評(píng)估單元。本文從混合制程的特點(diǎn)出發(fā)，在批間控制框架下，基于最小二乘算法和貝葉斯理論，針對(duì)制程中擾動(dòng)的多樣性，研究批間控制器性能

2、評(píng)估問(wèn)題，其主要內(nèi)容如下：
　　1.在半導(dǎo)體加工過(guò)程中，往往存在模型不匹配現(xiàn)象。為此，本文基于最小二乘辨識(shí)算法，提出了一種批間控制器性能評(píng)估的可達(dá)基準(zhǔn)。首先，在分析方差對(duì)批間控制器性能影響的基礎(chǔ)上，給出可達(dá)基準(zhǔn)的表達(dá)式，并利用滾動(dòng)時(shí)間窗口和最小二乘算法估算出待測(cè)參數(shù)。然后分別以thread-EWMA控制器與double-EWMA控制器為例，驗(yàn)證本文所提出可達(dá)基準(zhǔn)的有效性，以及模型不匹配參數(shù)對(duì)控制器性能的影響。
　　2.針對(duì)系

3、統(tǒng)擾動(dòng)的多樣性，本文在最小二乘參數(shù)辨識(shí)的基礎(chǔ)上，依據(jù)ARMAX模型和貝葉斯理論，提出了一種基于貝葉斯后驗(yàn)概率的性能評(píng)估基準(zhǔn)。首先，給出不同擾動(dòng)的擾動(dòng)估計(jì)的表達(dá)式，并建立 ARMAX模型；若控制器性能衰退，則制程的 ARMAX模型參數(shù)發(fā)生漂移，將控制器性能信息按加工時(shí)間順序劃分為兩個(gè)相鄰的滾動(dòng)時(shí)間窗口，基于貝葉斯后驗(yàn)概率函數(shù)，及時(shí)捕獲后一個(gè)滾動(dòng)時(shí)間窗口內(nèi)參數(shù)發(fā)生漂移的概率，從而判斷控制器性能是否衰退；然后分析模型不匹配、不協(xié)調(diào)因子、測(cè)量時(shí)