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1、換熱器是將溫度較高熱流體的部分熱量傳遞給冷流體，從而降低熱流體的溫度的設(shè)備，又稱為熱交換器。換熱器由于所處工作環(huán)境不同，換熱介質(zhì)的物理，化學(xué)性質(zhì)差異較大，其損壞形式也不同，但90％以上是由于腐蝕而引起的。換熱器大都是由金屬材料制成，且大都在高溫高壓的條件下工作，跟換熱介質(zhì)直接接觸，混合進(jìn)行熱量交換，腐蝕問題相當(dāng)嚴(yán)重。多晶硅生產(chǎn)中所用換熱器為立式固定管板式，管束介質(zhì)為三氯氫硅，管程介質(zhì)為循環(huán)冷卻水，在使用過程中由于管程內(nèi)外介質(zhì)壓力的不同，
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