多晶硅納米膜壓力傳感器溫度補償技術(shù)研究.pdf

1、多晶硅納米膜是一種具有良好壓阻特性的納米材料，基于多晶硅納米膜的壓力傳感器具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)好、精度高、穩(wěn)定性好、易于小型化和批量生產(chǎn)等諸多優(yōu)點。雖然納米膜的溫度特性比普通多晶硅薄膜優(yōu)越，但溫度還是會對此種傳感器的靈敏度及穩(wěn)定性產(chǎn)生一定影響，因此，溫度補償成為多晶硅納米膜壓力傳感器研究和生產(chǎn)中的一個亟待解決的技術(shù)問題。本課題在分析多晶硅納米膜壓力傳感器溫度漂移原因的基礎(chǔ)上，對傳感器信號檢測方法和溫度補償算法進行研究，并對溫度補償系統(tǒng)

2、進行了設(shè)計、制作與實際測試。
　　為檢測傳感器信號，在對傳感器信號測量原理分析的基礎(chǔ)上，對傳感器激勵電路、信號放大電路進行設(shè)計，并采用濾波電路和電路抗干擾措施來消除外部電磁干擾。為優(yōu)化溫度補償算法，根據(jù)壓力傳感器標定得到的實驗數(shù)據(jù)，利用MATLAB對二元回歸法和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)法的補償效果進行仿真，比較二者優(yōu)缺點之后，確定神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)法作為溫度補償算法。在驅(qū)動程序設(shè)計方面，在分析數(shù)字化造成的量化誤差的基礎(chǔ)上，基于過采樣原理確定系統(tǒng)采樣頻率，并