多晶硅壓力傳感器模數(shù)轉換電路設計.pdf

1、在社會的眾多領域中，壓力傳感器都起到了很重要的作用。根據(jù)相關資料得知，壓力傳感器的種類很多，其中在硅質材料上完成的占大多數(shù)。本文的傳感器是基于MEMS工藝，在單晶硅上制作四個納米多晶硅電阻，由四個電阻按規(guī)則排列構成惠斯通電橋的結構，進而形成納米多晶硅薄膜壓力傳感器。當施加壓力在硅膜表面時，惠斯通電橋中的兩個多晶硅電阻增大，其余的兩個多晶硅電阻減小，因而使橋路失去平衡，電橋的兩端就有電壓輸出，最后將力學信號轉化為電壓信號。
　　

2、本文分別介紹了壓力傳感器、納米多晶硅壓力傳感器的工作原理、基本結構、模數(shù)轉換電路的模擬仿真和制作，程序的設計實現(xiàn)。對納米多晶硅壓力傳感器的電流-電壓特性、靜態(tài)特性、溫度特性進行了分析。同時也利用軟件對設計的檢測信號電路、模數(shù)轉換電路、控制及顯示電路、電源電路進行模擬仿真，在此基礎上制造了模數(shù)轉換電路。本文設計的多晶硅壓力傳感器利用納米多晶硅電阻做為壓敏電阻，在一定程度上克服了多晶硅壓力傳感器信號難以測量的缺點，增強了傳感器的穩(wěn)定性。制造