多晶硅納米膜壓力傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、多晶硅納米膜作為一種新興材料，在重摻雜條件下較普通多晶硅薄膜具有更優(yōu)越的壓阻特性，其在壓力傳感器中的應用卻沒有相關方面的研究報道。因此，本文在分析多晶硅納米膜的電學及壓阻特性的基礎上，將多晶硅納米膜應用于壓力傳感器的力敏元件上，并制作出多晶硅納米膜壓力傳感器。
　　在傳感器結構設計方面，利用有限元分析方法，借助ANSYS軟件，對傳感器彈性膜片的應變分布進行分析，由分析結果確定多晶硅壓敏電阻在彈性膜片上的布局；并根據(jù)重摻雜條件下多晶

2、硅納米膜電阻率較高的情況設計出了正方形的“胖”型壓敏電阻。在傳感器制作過程中，利用低壓化學氣相淀積法在表面有二氧化硅的硅襯底上生長多晶硅納米膜，光刻形成多晶硅壓敏電阻后通過金屬引線連接構成惠斯通電橋；硅片在各向異性腐蝕液中腐蝕形成硅杯結構，并與玻璃襯墊靜電鍵合，最終制成多晶硅納米膜壓力傳感器。利用實驗室自行搭建的測試系統(tǒng)對多晶硅納米膜壓力傳感器的靜態(tài)性能進行初步測試，在5V恒壓源激勵下，0~0.6MPa量程范圍內(nèi)，傳感器芯片輸出靈敏度可

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