單晶硅太陽電池擴散工藝研究.pdf

1、隨著科技水平的提高，人類對可再生能源不斷深化認識，尤其是太陽能的開發(fā)和利用日益受到人們的重視。單晶硅太陽電池因其在轉換效率和使用壽命等方面的優(yōu)勢被廣泛的應用在產業(yè)化上，各個科研機構和產業(yè)化公司都在為提高單晶硅太陽電池轉換效率和降低成本而努力。本文首先介紹了太陽電池的基本原理和電性能參數，之后又系統(tǒng)的介紹了單晶硅太陽電池的生產工藝流程（包括清洗制絨、擴散、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網印刷與燒結）。其中擴散的目的是在硅片內部形成單晶硅太陽電

2、池的心臟PN結，在形成PN結的同時，磷的吸雜作用還能用來改善太陽電池的性能，針對這一課題，本人在實習期間從產線上遇到的實際問題入手，主要在單晶硅太陽電池的擴散工藝上做了雙面磷擴散、擴散退火時間、擴散方阻這三方面的研究。
　　研究結果表明:
　　與單面磷擴散相比，雙面磷擴散的單晶硅太陽電池在轉換效率、開路電壓(Uoc)、短路電流(Isc)等電性能參數上以及吸雜效果上均好于單面磷擴散。
　　在適當的范圍內增加擴散的退火時間