晶體硅太陽電池表面鈍化技術(shù)的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩85頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、太陽能是利用價值最高的新能源之一，晶體硅太陽電池則是利用太陽能最有效的手段之一。為了降低生產(chǎn)成本并提高轉(zhuǎn)換效率，晶體硅太陽電池的表面鈍化技術(shù)的研究意義非凡。
　　本文首先研究了氮化硅的微結(jié)構(gòu)與其鈍化效果的關(guān)系，在此基礎(chǔ)上分析了熱處理影響氮化硅薄膜鈍化效果的本質(zhì)原因。發(fā)現(xiàn)熱處理后，薄膜中固定電荷含量隨溫度的上升先下降再上升然后再下降，界面處氫的含量則是隨著溫度的上升先保持不變，再上升最后急劇下降。當(dāng)熱處理溫度為400℃-450℃時，

2、薄膜中固定電荷含量最高，界面處氫含量最高，薄膜鈍化效果最好。
　　對氮氧化硅的研究指出，當(dāng)一氧化二氮的流量為30sccm時薄膜的鈍化效果最好，此時氮氧化硅的組成為75％的Si-O2N2和25％的Si-SiON2。氧原子的引入是其鈍化效果優(yōu)于氮化硅的主要原因。熱處理可以使薄膜中的固定電荷含量上升，界面處態(tài)密度下降，從而提高薄膜的鈍化效果。
　　與非晶硅單層膜相比，非晶硅/氮化硅疊層膜的鈍化效果較好，氮化硅薄膜中大量的氫是主要原

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論