面向電子制造的高速精密宏微運動平臺減振研究與測試.pdf

1、隨著電子制造業(yè)的高速發(fā)展，電子封裝裝備對其核心運動平臺及系統(tǒng)提出了愈加苛刻的要求，要求實現(xiàn)高速、高加速度(10g-15g)運動條件下的微米級(1-3μm)精密定位。本文面向電子制造的高速精密運動平臺開展研究，以高速、高精密定位等運動要求設(shè)計并搭建單軸宏微運動平臺，開發(fā)集成控制系統(tǒng)，通過動力學(xué)建模和減振方法及相關(guān)實驗，驗證平臺性能。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴深入調(diào)研高速精密運動平臺的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，分析精密運動平臺的關(guān)鍵技術(shù)及其存

2、在的難點問題，確定本文的研究內(nèi)容及研究重點。⑵提出一種宏微復(fù)合驅(qū)動方案，即基于音圈電機的宏運動和基于壓電陶瓷的微運動相結(jié)合，實現(xiàn)高速大行程精密定位的運動要求;提出一種雙光柵尺復(fù)合定位方法，宏運動采用增量式光柵尺、微運動采用絕對式光柵尺的位置信號反饋方式，實現(xiàn)平臺的精密定位;并設(shè)計出單軸宏微運動平臺模型。⑶對所設(shè)計的宏微運動平臺進行功能設(shè)計和集成控制系統(tǒng)開發(fā)，實現(xiàn)電機、壓電陶瓷、增量式光柵尺、絕對式光柵尺等信號的采集與運動控制集成。⑷建立