面向芯片封裝的高速精密定位平臺(tái)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、本文以開(kāi)發(fā)面向IC封裝的高速、高精度定位系統(tǒng)為目標(biāo),以?xún)勺杂啥鹊芽栕鴺?biāo)型高速、高精度定位平臺(tái)為對(duì)象,研究了提高其速度與精度的控制策略和方法,并建造出xY精密定位平臺(tái)樣機(jī)一臺(tái).取得如下成果: □采用直線音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的兩自由度笛卡爾坐標(biāo)型高速、高精度定位平臺(tái),并采用新型彈性解耦機(jī)構(gòu),從而將驅(qū)動(dòng)部件置于底座上,減輕了運(yùn)動(dòng)部件的重量,降低了慣量,同時(shí)具有傳統(tǒng)XY精密定位平臺(tái)運(yùn)動(dòng)學(xué)解耦的特點(diǎn)□將X軸向和Y軸向定位平臺(tái)等效為集中質(zhì)量系

2、統(tǒng),分別建立了X軸向和Y軸向定位機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)模型,并建立了直線音圈電機(jī)的動(dòng)態(tài)方程.最終,結(jié)合系統(tǒng)特點(diǎn),建立了系統(tǒng)的機(jī)電耦合模型. □在系統(tǒng)機(jī)電耦合模型基礎(chǔ)上,應(yīng)用最小節(jié)拍響應(yīng)控制策略進(jìn)行控制,該方法以最小的超調(diào)量快速達(dá)到穩(wěn)態(tài)響應(yīng)的允許波動(dòng)范圍,并能持續(xù)保持在該波動(dòng)范圍內(nèi)的時(shí)間響應(yīng)為前提,對(duì)控制參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整,最終得到理想的控制結(jié)果.理論分析和實(shí)驗(yàn)證明,能夠滿(mǎn)足封裝設(shè)備的精度、速度需求. □針對(duì)上述理論分析,采用激光干涉