2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、微定位平臺(tái)是微/納加工與裝備測試的核心功能組件。本文以設(shè)計(jì)大行程、高分辨率微定位平臺(tái)為目標(biāo)，以柔度矩陣法、拉格朗日方程、有限元分析等系統(tǒng)地研究了微定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)剛度、固有頻率以及運(yùn)動(dòng)特性等關(guān)鍵問題，并加工出樣機(jī)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測試。主要工作成果如下:
　　設(shè)計(jì)一種以音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的二自由度微定位平臺(tái)。微定位平臺(tái)由上、下平臺(tái)通過螺栓連接而成，具有行程大、承載能力強(qiáng)、完全解耦等優(yōu)點(diǎn)。
　　對(duì)微定位平臺(tái)進(jìn)行簡化處理，用柔度矩陣法、

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