玻璃基SnO2-Sb-SiO2減反射抗靜電雙功能薄膜的研究.pdf

1、將具有減反射和抗靜電功能的鍍膜玻璃復合于一體，使之具有雙重功能，可以很好的應用于顯示器、建筑玻璃等領域。本文以無機金屬鹽SnCl2·2H2O、SbCl3，正硅酸乙酯、無水乙醇為原料，采用溶膠凝膠浸漬提拉法在普通玻璃基片表面制備了ATO(SnO2∶Sb)透明導電薄膜、SiO2減反膜、單層ATO-SiO2、雙層ATO/ATO-SiO2減反射抗靜電雙功能薄膜，研究了薄膜制備參數(shù)對其結(jié)構(gòu)和性能的影響，并對薄膜的電學性能、光學性能、表面形貌等薄膜

2、特性進行了表征。得出以下結(jié)論:
　　 (1) ATO膜層厚度為10c、Sb的摩爾摻雜量為5％、熱處理溫度為500℃時，薄膜的可見光區(qū)平均透過率為70％左右，方塊電阻為78.7Ω/，電阻率為6.532×10-3Ω·cm，并且薄膜表面均勻平整無裂紋;FESEM放大20萬倍的薄膜表面顆粒排列平整均勻，有孔狀結(jié)構(gòu)出現(xiàn);XRD圖譜顯示ATO薄膜在衍射角為26.4°、33.8°、51.7°時分別出現(xiàn)了(110)、(101)、(211)面的衍

3、射峰，說明薄膜為四方相金紅石結(jié)構(gòu)，且無其它雜相，衍射峰比較明顯，無明顯擇優(yōu)取向;
　　 (2) SiO2減反射薄膜樣品表面均勻平整無裂紋;膜層厚度在3c時薄膜增透/減反射效果最好，可見光區(qū)平均透過率達到92.67％，平均增透率為2.13％；透過率隨熱處理溫度的升高先增加后減小;熱處理時間的增加會導致玻璃基片中鈉離子擴散至膜層中影響薄膜性能，最佳熱處理時間為0.5h;
　　 (3)單層ATO-SiO2減反射抗靜電薄膜的表面

4、電阻達到了108Ω的數(shù)量級;隨ATO含量的增加，薄膜在可見光波段的透過率依次減小，反射率依次增加。在ATO含量為0時，由于薄膜整體折射率最小，增透效果最明顯，可見光區(qū)平均透過率達到92.67％，同時反射率為6.78％;
　　 (4) XRD表征的雙層ATO/ATO-SiO2減反射抗靜電薄膜主要呈玻璃態(tài)的包峰曲線;FESEM圖像顯示薄膜表面ATO顆粒均勻分散在SiO2基體中;雙層ATO/ATO-SiO2減反射抗靜電薄膜的表面電阻隨

5、ATO含量的增加而減小，達到了106Ω的數(shù)量級;隨著ATO含量的增加，薄膜的可見光區(qū)平均透過率基本上呈依次減小的趨勢，與之相對應的反射率則依次增加。在ATO摩爾含量為3％時，最高可見光平均透過率和最低反射率分別為93.57％和5.15％;在紫外波段，薄膜的透過率曲線的紫外吸收邊紅移;雙層ATO/ATO-SiO2薄膜中ATO膜層厚度和含量的增加均可明顯減小薄膜電阻，表面電阻達到了105Ω以下，接近導體導電水平，但同時薄膜的透過率依次降低；