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文檔簡(jiǎn)介
1、本文以TEOS、SnCl2·2H2O和SbCl3為原料，采用溶膠-凝膠結(jié)合旋轉(zhuǎn)涂膜技術(shù)在玻璃基底上制備出SiO2增透膜、SnO2：Sb(ATO)透明導(dǎo)電薄膜以及SnO2：Sb/SiO2復(fù)合薄膜，利用TG-DSC、XRD、FTIR、SEM、四探針電阻儀、分光光度計(jì)、橢偏儀等技術(shù)對(duì)薄膜樣品進(jìn)行了表征。
結(jié)果表明，所制備的SiO2薄膜具有較大的孔隙率(p=27％)和較低的折射率(n=1.352)，在玻璃基底上鍍一層SiO2膜后，峰值
2、透過率由90％提高到95％，達(dá)到了較好的增透效果，進(jìn)一步提高了可見光利用率。所制備的SnO2：Sb薄膜具有較高的折射率(n=1.91)和良好的導(dǎo)電性，方塊電阻最低為105Ω/□，能夠降低紅外輻射，在玻璃上鍍SnO2：Sb膜后，近紅外波段透過率下降顯著，由90％降到5.5％。優(yōu)化工藝條件下制備的SnO2：Sb/SiO2復(fù)合薄膜的性能優(yōu)于SnO2：Sb薄膜，在相同情況下SnO2：Sb/SiO2復(fù)合薄膜對(duì)可見光的透過率大于SnO2：Sb薄膜，
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