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文檔簡(jiǎn)介
1、二氧化鈦薄膜具有光催化和光致親水性兩種優(yōu)越的性質(zhì),然而在實(shí)際中受到激發(fā)波長(zhǎng)范圍窄,太陽(yáng)光利用率低的限制,無法大規(guī)模應(yīng)用。本文采用等離子體處理和銀摻雜來分別提高TiO2的親水性和光催化性,并積極探討其中的改性機(jī)理。
首先,采用直流磁控濺射制備TiO2薄膜,以親水性作為表征,建立起制備參數(shù)與親水性的關(guān)系,探索具有最佳親水性的制備參數(shù)。并對(duì)此參數(shù)下制備的TiO2薄膜進(jìn)行XRD和SEM檢測(cè),結(jié)果表明所制備的薄膜是具有良好表面形貌的
2、銳鈦礦相TiO2薄膜。
然后,采用O2和N2等離子體處理制備的TiO2薄膜,并探討處理參數(shù)如壓強(qiáng)、時(shí)間及功率,對(duì)親水性的影響。并對(duì)比O2和N2等離子體處理的樣品在黑暗下保存1h后的親水性,結(jié)合XPS分析等離子體處理的改性機(jī)理。結(jié)果表明,O2等離子體處理后的TiO2薄膜親水性不與氧空位濃度成正比,推測(cè)O2等離子體處理后的TiO2薄膜的超親水性與處理過程中吸附在Ti5c的O原子有關(guān)。
最后,采用熱蒸發(fā)鍍?cè)赥iO2
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