單晶爐冷卻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、單晶硅的生長(zhǎng)方式多種多樣,目前主流的是區(qū)熔法和直拉法兩種,但不管是哪一種生長(zhǎng)方法,其對(duì)整個(gè)單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程的溫度要求都是相當(dāng)嚴(yán)苛的。作為單晶硅生長(zhǎng)最重要的單晶爐,爐內(nèi)工作溫度一般在1400℃,而單晶爐的爐體材料一般是不銹鋼材料,其耐受溫度在300℃以下,如果爐體長(zhǎng)期在大于300℃的高溫環(huán)境下工作,會(huì)由于不銹鋼材料的氧化導(dǎo)致爐體表面發(fā)黃并生銹腐蝕,大大縮短爐體壽命,影響企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。
　　為了防止?fàn)t體工作溫度過(guò)高,必須對(duì)爐體進(jìn)行冷卻。

2、本論文根據(jù)某企業(yè)單晶硅鑄錠爐對(duì)冷卻水的要求,結(jié)合生產(chǎn)中的各種實(shí)際情況,設(shè)計(jì)了一套基于西門子S7-200系列PLC為核心的爐體冷卻控制系統(tǒng)對(duì)爐體進(jìn)行循環(huán)冷卻。整個(gè)系統(tǒng)的核心內(nèi)容為工藝水冷卻水的恒壓變頻控制,除此之外,給工藝?yán)鋮s水降溫的冷卻塔冷卻水、冰機(jī)冷凍水的控制以及給廠房降溫的空調(diào)冷凍水的控制,備用水恒壓變頻控制以及三級(jí)供水系統(tǒng)是本文的重要研究?jī)?nèi)容。
　　通過(guò)實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)行證實(shí),不管投入運(yùn)行的單晶爐數(shù)量如何變化,該冷卻系統(tǒng)對(duì)爐體的冷