YSZ襯底上鋁銦氧化物薄膜的制備及性質(zhì)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、分類(lèi)號(hào)：密級(jí)：⑧單位代碼：10422學(xué)號(hào)：∥戶(hù)羹辦芬SHANDONGUNIVERSITY碩士學(xué)位論文論文題目：ThesisforMasterDegree作者培養(yǎng)專(zhuān)業(yè)指導(dǎo)合作姓名單位名稱(chēng)教師導(dǎo)師一查一些鱉拍塑學(xué)阮做好學(xué)與耐噼與型教捉2。f￥年5El上多Et山東大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄摘要IABSTRACTIII符號(hào)表一VI第一章緒論111概述112In203材料的性質(zhì)213A1203材料的性質(zhì)314鋁銦氧化物材料的研究現(xiàn)狀415研究課題的選取

2、。5本章參考文獻(xiàn)7第二章薄膜制備方法和測(cè)試分析方法介紹一lO21薄膜制備技術(shù)lO211濺射鍍膜法lO212分子束外延法11213化學(xué)氣相沉積法12214溶膠凝膠法1322薄膜性質(zhì)測(cè)試分析方法15221結(jié)構(gòu)和成分測(cè)試分析15222表面形貌分析：16223電學(xué)性質(zhì)分析17224光學(xué)性質(zhì)分析17本章參考文獻(xiàn)18第三章實(shí)驗(yàn)設(shè)備和薄膜制備1931金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)19‘311本論文使用的MOCVD系統(tǒng)介紹19312MOCVD的基

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