基于音圈電機的多自由度主動減振系統(tǒng)研究.pdf

1、振動、溫度和污染構成了超精密加工的三個主要影響因素。振動在加工領域幾乎無處不在。尤其在高速高精加工場合,振動更是成為了影響系統(tǒng)加工精度的主要因素。
　　傳統(tǒng)的被動減振方法對于頻率低于或者等于系統(tǒng)固有頻率的振動干擾并沒有什么太好的減振效果,而且由于被動減振系統(tǒng)中結(jié)構參數(shù)的固定,其對于復雜隨機變化的振動干擾很難有很好的減振效果。為此我們研究了主動減振系統(tǒng)。
　　本文中主動減振系統(tǒng)是在被動減振系統(tǒng)的基礎之上增加音圈電機作動器,利用

2、加速度傳感器測量減振對象的振動信號,經(jīng)過分析和處理之后,輸入到控制器當中,由控制器產(chǎn)生控制量,驅(qū)動音圈電機輸出一定的力(或力矩)或位移,來抵消或者抑制減振對象的振動位移響應,以達到減振的目的。此系統(tǒng)能實時測量減振對象振動信號,故其可以對減振對象的振動進行實時控制和抑制。因此,系統(tǒng)既能抑制既定頻率的振動,又能抑制隨機變化頻率的振動,克服了被動減振系統(tǒng)的不足。
　　本文研究的基于音圈電機的六自由度主動減振系統(tǒng)既能抑制水平方向的振動干擾