基于FBAR的微質(zhì)量傳感器的設計及應用技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、無線傳感器網(wǎng)絡是目前國際上一個前沿熱點研究領域。它的學科交叉性強,知識集成度高,受關注程度也很高。傳感器網(wǎng)絡中的各個節(jié)點要求體積小、功耗低、靈敏度高、可靠性強,這些性能均可由 FBAR實現(xiàn)。但是相對其他較成熟的應用而言,FBAR作為質(zhì)量傳感器的研究與應用起步相對較晚,故此還有很大的研究價值。
　　本文首先用實驗室方法制備得到了基于Bragg反射層結(jié)構(gòu)的FBAR,獲得了比較理想的阻抗特性。結(jié)合 FBAR的特點與現(xiàn)有的實驗條件,為FB

2、AR設計了一套 SOLT微波測量裝置,能免去探針臺直接在PCB上測試 FBAR的性能,且測量結(jié)果有良好精確度,為開展各項實驗提供有利條件。同時利用測量數(shù)據(jù)提取了FBAR等效模型 MBVD中各個參數(shù)的實際值,并建立了相應的ADS元件庫,能將FBAR直接放入電路進行仿真,有效地降低后續(xù)電路設計難度與仿真時間。
　　本文針對制得的FBAR器件設計并成功制作了微質(zhì)量傳感器系統(tǒng),采用差頻計數(shù)的方式檢測諧振器的諧振頻率變化。整個系統(tǒng)包含兩路微

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