微傳感器宏模型提取技術(shù)研究.pdf

1、隨著傳感技術(shù)在電子產(chǎn)品中的應(yīng)用以及電子產(chǎn)品的迅速普及，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）取得了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品也已經(jīng)進(jìn)入主流市場。與此同時，基于MEMS的傳感器與電子電路的耦合也變得更加緊密起來。一方面微型傳感器與ASIC集成于同一芯片已成為傳感MEMS的必然發(fā)展趨勢；另一方面微型傳感器也已經(jīng)步入了低功耗、低成本、小型化、集成化以及智能化的發(fā)展行列。
　　目前，微型傳感器的設(shè)計與仿真技術(shù)以及 IC電路設(shè)計與制造技術(shù)已經(jīng)發(fā)展的相當(dāng)成

2、熟，然而，聯(lián)接微型傳感器設(shè)計與IC電路設(shè)計的微型傳感器宏模型提取技術(shù)的發(fā)展卻相當(dāng)滯后。微型傳感器通常使用微型傳感器計算機(jī)輔助設(shè)計工具進(jìn)行設(shè)計，利用有限元工具進(jìn)行功能驗(yàn)證；集成電路（IC）設(shè)計是通過EDA工具（如Cadence Virtuoso設(shè)計軟件）來實(shí)現(xiàn)；對于微型傳感器宏模型提取，傳統(tǒng)的做法是設(shè)計人員手工制作 Verilog-A模型以便插入到 IC電路中實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)級仿真。這些模型往往過于簡單，而且非參數(shù)化，此外，創(chuàng)建這些Verilog

3、-A模型不僅耗時、費(fèi)力，而且需要綜合運(yùn)用多學(xué)科知識。
　　由于消費(fèi)電子行業(yè)的市場牽引，微型傳感器朝著更多功能、更低成本和更快推向市場的方向邁進(jìn)，傳統(tǒng)的手工提取微型傳感器宏模型方法的發(fā)展遇到了瓶頸。鑒于此，本文介紹一種借助軟件快速、便捷的微型傳感器宏模型的提取方法。文中首先介紹了微型傳感器的系統(tǒng)設(shè)計方法，其次，介紹了微型傳感器的設(shè)計仿真及微型傳感器宏模型硬件語言描述，最后，說明了微型傳感器封裝元件與后端處理電路共同在Cadence