FBAR器件模型和若干應(yīng)用技術(shù)的研究.pdf

1、隨著無(wú)線(xiàn)通信技術(shù)的不斷發(fā)展，促使無(wú)線(xiàn)射頻終端趨于小型化、集成化設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)介質(zhì)濾波器和聲表面波濾波器技術(shù)相比，新型薄膜體聲波諧振器( Thin Film Bulk Acoustic Resonator, FBAR)具有工作頻率高、插入損耗小、帶外抑制大、溫度系數(shù)低、Q值高、體積小、且可與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝相兼容等優(yōu)點(diǎn)，有廣闊的應(yīng)用前景，正越來(lái)越受到國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界和業(yè)界的關(guān)注。
　　 本文研究了FBAR器件模型和FBAR技術(shù)的應(yīng)用兩大

2、方面內(nèi)容，具體對(duì)FBAR建模和制備、FBAR濾波器設(shè)計(jì)和FBAR傳感信號(hào)采集芯片設(shè)計(jì)等三部分內(nèi)容進(jìn)行了分析研究，主要研究成果如下：
　　 1．從FBAR的Mason等效電路模型出發(fā)，建立了ADS仿真模型庫(kù)；基于等效復(fù)介電常數(shù)建立了FBAR的HFSS三維電磁場(chǎng)仿真模型，實(shí)現(xiàn)了FBAR聲場(chǎng)和電磁場(chǎng)的協(xié)仿真。將兩者的仿真結(jié)果進(jìn)行比較，進(jìn)一步驗(yàn)證了模型的準(zhǔn)確性和可靠性?；谝呀⒌哪Ｐ停O(shè)計(jì)制備了不同結(jié)構(gòu)的縱波和剪切模式FBAR，并對(duì)樣

3、品進(jìn)行了測(cè)試。測(cè)試結(jié)果表明，F(xiàn)BAR的Q值最高可達(dá)1350左右。
　　 2.設(shè)計(jì)了用于GSM、PHS、WCDMA通信終端的FBAR帶通濾波器，以及用于MIMO終端的多工器，仿真結(jié)果表明，濾波器和多工器有著優(yōu)良的濾波特性，完全可滿(mǎn)足目前各通信終端的要求；研究分析了FBAR堆疊濾波器、FBAR帶阻濾波器、剪切模式FBAR濾波器的原理和設(shè)計(jì)方法，給出了相應(yīng)的設(shè)計(jì)實(shí)例，并提出了一種具有隔離層的多耦合型濾波器；對(duì)包括寄生、帶寬、帶外抑制、