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1、空洞及非均勻摻雜對深槽填充空洞及非均勻摻雜對深槽填充SJVDMOS電學(xué)特性影響電學(xué)特性影響作者姓名朱賀作者姓名朱賀指導(dǎo)教師姓名、職稱宋建軍指導(dǎo)教師姓名、職稱宋建軍副教授副教授申請學(xué)位類別申請學(xué)位類別工學(xué)碩士工學(xué)碩士空洞及非均勻摻雜對深槽填充空洞及非均勻摻雜對深槽填充SJVDMOS電學(xué)特性影響電學(xué)特性影響學(xué)校代碼學(xué)校代碼10701分類號分類號TN4西安電子科技大學(xué)西安電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文學(xué)號學(xué)號1311122752密級密級
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