2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、整片晶圓納米壓印是一種大面積納米壓印圖形化方法,在發(fā)光二極管、晶圓級光學(xué)器件、太陽能電池板具有廣泛的應(yīng)用。針對LED納米圖形化面臨的問題,整片晶圓納米壓印的研究是非常重要的。但是目前整片晶圓納米壓印在脫模和模板制作等關(guān)鍵技術(shù)上存在問題,亟待解決。本項目針對脫模和模板制作這兩個核心問題進行初步的研究。
  由于傳統(tǒng)的脫模方式產(chǎn)生的脫模力較大,本文采用揭開式脫模的方式。首先對脫模過程進行理論分析,在脫模過程中涉及到固-固界面的相互作用

2、,存在粘附力。因此,應(yīng)用接觸力學(xué)理論分析了幾種接觸理論以及接觸理論模型。另外脫模過程中將導(dǎo)致模具產(chǎn)生缺陷,因此應(yīng)用斷裂力學(xué)對脫模過程中的應(yīng)力和應(yīng)變進行分析,為脫模過程的數(shù)值模擬奠定理論基礎(chǔ)。
  其次對脫模過程進行數(shù)值模擬時,本文采用揭開式脫模的幾何模型。用ABAQUS有限元軟件對揭開式脫模進行數(shù)值模擬,分別對不同位移載荷、深寬比、圖形層周期長度、材料、角度進行數(shù)值模擬,得到一定的結(jié)論。
  傳統(tǒng)的模具結(jié)構(gòu)無法滿足LED納米

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