溶膠凝膠法制備W、Ti摻雜氧化鋅薄膜及其性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、指導小組成員俞宏坤副教授肖斐教授王瑤副教授#料#Ⅱ自1B學溶腚鞋腔Iz剖#W，_摻雜氧化辭薄膜墨蘭塑￡目學位堅2610紅外譜㈣檢測法第三章過氧化氫處理S01Gel法制備ZnO薄膜31t璺實驗試劑及儀器32宴驗過樣3j樣^^測試及結聚討論331溶脞的吸收光譜分析332十燥溶膠的XRO】生I譜333凝腔熱分析2122334納米粒度分析3j5凝腔的紅外光諾分析336薄膜表面形貌分析337薄膜的PL譜鍘試34奉章小結第叫章溶膠凝膠法制備鎢摻雜氧

2、化鋅薄膜41W摻雜ZnOj莩腔的制備42W：ZnO薄膜的測試2』喪自l383842lFTIR測試40422ZWO薄膜的癱砸化學杏分析423薄膜結構分析424W摻般zo蔣腔的納米粒度分析425W摻滸膠的紫，riJl見吸收光譜426老化時n4＆處理溫度對薄膜彤貌的影響427薄膜光學性能及禁帶逝度擬臺429PL譜測試43奉章小站第“章溶膠凝膠法制缶Tj摻雜ZnO薄膜5lTi摻雜ZnO溶腔的制薔52Ti：ZnO薄膜的酒試’j表征521FTIR測

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