LCD真空貼合基板吸附和剝離關鍵技術的研究.pdf

1、TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）是主流的平板顯示技術， TFT-LCD生產設備的技術性能決定著液晶顯示面板的生產工藝水平。中航光電子液晶顯示面板向小尺寸轉型，部分設備的性能不能滿足小尺寸面板的工藝技術要求。本文針對真空貼合設備在對應小尺寸面板時面板存在顯示漏光和液晶屏氣泡的問題，對真空貼合設備工藝流程、真空條件下基板吸附和剝離技術開展研究，做了以下的研究工作：

2、>　　真空貼合制品缺陷分析和新工藝模型建立，論文分析了真空貼合設備結構和工藝原理，提出了表征基板貼合精度的工藝參數(shù)，分析了液晶面板顯示漏光和液晶屏氣泡缺陷產生的原因，建立了新的工藝模型，對真空貼合設備提出了改進的設計方案，并分析了其實現(xiàn)的可行性。
　　基板吸附和剝離單元的設計和可靠性驗證，設計新型的粘性橡膠吸附單元和高壓氣囊剝離單元，通過實驗驗證了其動作的可靠性，通過制品驗證了新型基板吸附和剝離單元不會造成面板不良。定盤和電氣系統(tǒng)