Sm-Co永磁薄膜的制備與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　作為新型功能材料,S m-Co基永磁薄膜由于其較高的居里溫度、耐腐蝕性等優(yōu)良的性能,在磁性微機電系統(tǒng)(MEMS)中有重要應(yīng)用。
　　實驗中采用復合靶和純釤靶共濺射制備出Sm(Co,Cu,Fe,Zr)x薄膜樣品,并通過改變釤靶的濺射速率來改變合金中的Sm含量,通過 EDX測量來確定薄膜的合金成分。另外,通過實驗分析我們認為用W取代Cr做緩沖層能明顯提高薄膜的附著力。
　　本文主要研究了緩沖層、薄膜合金中Sm含量以及退火

2、的工藝條件對薄膜的相結(jié)構(gòu)、微觀形貌以及磁性能的影響。結(jié)果表明,采用 W 作為緩沖層可明顯提高薄膜高溫退火時的附著力,獲得了質(zhì)量很好的Sm(Co,Cu,Fe,Zr)x薄膜樣品；在低于 700oC 條件下退火,薄膜只析出了 Sm2Co17 相,而在高于 700oC 退火有Sm2Co17和SmCo5兩相析出。但初步的研究表明,并沒有形成塊體材料中出現(xiàn)的胞狀結(jié)構(gòu)。薄膜合金中 Sm含量的提高,使薄膜的 S m-Co 相析出增多,組織更加均勻,矯頑

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