CMP對低k介質材料的影響及其優(yōu)化方法研究.pdf

1、分類號：TN305.2密級：公開UDC：編號：201220193024河北工業(yè)大學碩士學位論文CMP對低對低k介質材料的影響及其優(yōu)化方法介質材料的影響及其優(yōu)化方法研究研究論文作者：李若津學生類別：全日制學科門類：工學學科專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：王勝利職稱：教授資助基金項目：國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃02科技重大專項資助項目(2009ZX02308)河北省自然科學基金資助項目（E2014202147）原創(chuàng)性聲明原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲

2、明：所呈交的學位論文，是本人在導師指導下，進行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內容外，本學位論文不包含任何他人或集體已經(jīng)發(fā)表的作品內容，也不包含本人為獲得其他學位而使用過的材料。對本論文所涉及的研究工作做出貢獻的其他個人或集體，均已在文中以明確方式標明。本學位論文原創(chuàng)性聲明的法律責任由本人承擔。學位論文作者簽名：日期：關于學位論文版權使用授權的說明關于學位論文版權使用授權的說明本人完全了解河北工業(yè)大學關于收集、保存、使用學位論