2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、高頻電子器件的微型化和集成化是通信設(shè)備發(fā)展的必然趨勢。電感作為變壓器、放大器等射頻器件的基本組成單元,廣泛地應(yīng)用于各種電子線路中,其高頻化、小型化是電子設(shè)備實(shí)現(xiàn)高性能、小尺寸、高集成度的關(guān)鍵因素。傳統(tǒng)的螺旋電感占用面積大,高頻下性能惡化,難以滿足器件小型化、集成化和高頻化的要求。因此迫切需要開發(fā)出一種可以在高頻段穩(wěn)定工作的平面微電感器件。
  將磁性薄膜引入螺線管電感中,可望在保證電感小尺寸的同時(shí),顯著地提高電感量和品質(zhì)因數(shù)。因此

2、,使用高頻磁性薄膜材料作為磁芯是實(shí)現(xiàn)電感器件高頻化、微型化最有效的方法。但傳統(tǒng)的磁性材料由于其低的電阻率和鐵磁共振頻率,無法在高頻下應(yīng)用。經(jīng)過近年來的持續(xù)研究,本課題組已經(jīng)開發(fā)出性能優(yōu)異的高頻磁性薄膜材料。本論文擬將課題組開發(fā)的高頻磁性多層膜材料集成到平面螺線管型微電感中,提高電感的高頻性能。論文主要內(nèi)容如下:
  (1)采用磁控濺射的方法制備了[FeCoSiN/SiNx]n多層膜磁芯材料,并對多層膜的結(jié)構(gòu)和高頻性能進(jìn)行了系統(tǒng)的表

3、征。對于FeCo磁性層厚度為7nm,SiNx非磁性層為3.5nm的樣品,磁導(dǎo)率大于50,鐵磁共振頻率為4.43 GHz,電阻率高達(dá)367.9μΩ·cm,比較適合作為高頻電感器的磁芯材料。
  (2)利用HFSS有限元仿真軟件模擬了不同參數(shù)下集成磁芯螺線管電感的性能,明確了各個(gè)參數(shù)對電感值和品質(zhì)因數(shù)的影響,為電感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝優(yōu)化提供理論依據(jù)。
  (3)針對磁芯螺線管電感制備過程中出現(xiàn)的問題,對光刻工藝、電鍍Cu工藝以及PI

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