MEMS磁芯螺線管微電感的模擬和制造工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文MEMS磁芯螺線管微電感的模擬和制造工藝研究姓名：郭紹寅申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：周勇20070101II研究和分析各種相關(guān)參數(shù)對(duì)微電感的性能影響，并提出了優(yōu)化設(shè)計(jì)方案。(3)磁芯螺線管微電感的制造和測(cè)試本文結(jié)合MEMS工藝，設(shè)計(jì)和制造了NiFe磁芯材料的螺線管微電感。制造過程涉及濺射、光刻、電鍍、干法刻蝕和濕法刻蝕等MEMS工藝，以及雙面套刻、多層深度光刻、深層微電鑄工藝、聚酰亞胺絕

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