探針游移對測試大型硅片微區(qū)薄層電阻的影響及仿真技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、河北工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文探針游移對測試大型硅片微區(qū)薄層電阻的影響及仿真技術(shù)研究姓名：趙麗敏申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：儀器科學(xué)與技術(shù)指導(dǎo)教師：劉新201012iiTHEINFLUENCEOFPROBEWANERINGTOTESTINGSHEETRESISTANCEOFLARGESILICONRESEARCHONSIMULATIONTECHNOLOGYABSTRACTResistivityisaveryimptantperfmanceinde

2、xinsemiconductmaterialbecauseitwillinfluencetheperfmanceofthedevicedirectly.Wecangetsomeimptantinfmationsuchasthedopingcontentfrommeasuringit.Therefetestingthemicroareasheetresistancehasbecomeanimptantprocessinchipproces

3、sing.Fourpointprobetechnologyisaspecialmethodtomeasuretheresistivityofsemiconduct.AsameansofICtestingfourprobetechnologyhasimptantapplicationsindertomeettheneedsoftherapiddevelopmentofintegratedcircuitswehaveproposedhigh

4、ertestingrequirements:notonlysimplefastaccuratemustmeetthedeedsofeachprocess.Thisrequiresnotonlyneedperfectdesigntoolsstableproducingcapacityalsoneedreliabilityhighprecisiontestingmeans.Thispaperfirstintroducesthebackgro

5、undoffourprobetechniqueresearchstatusfuturetrendsbothathomeabroadapplicationclassificationoffourprobemethodanalyzestheprinciplesacteristicsofvariousmethodsfocusontheconventionallinerfourprobemethodmodifiedVanDerPauwmetho

6、dRymaszewskimethod.Analysistheinfluenceofprobewaveringusinglinerfourprobemethodthesquarefourprobemethodcomparedthem.Improvedthefourprobetestsystemlastsimulating.Theinnovationofthistopicasfollows:Onesystematicanalysisofth

7、einfluenctialfactsintheprocessoffourprobediscussthecrectionusingfiniteelementmethodtwomakefurtherresearchonthedetailofthetestincludingthechoiceofthetestcurrentprobethepositionoftheprobethreeanalysistheinfluenceofprobewav

8、eringusinglinerfourprobemethodthesquarefourprobemethodcomparedthemfourusingsimulationtechnologytodesignfour–probesystemrealizedatestfthemeasurementcalculatederroftheprobewer.KEYWDS:microareasheetresistancefourprobemeasur

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