基于表面分塊的微細(xì)電火花三維表面粗糙度研究.pdf_第1頁(yè)
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1、哈爾濱工程大學(xué)碩士學(xué)位論文基于表面分塊的微細(xì)電火花三維表面粗糙度研究姓名：劉東平申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：系統(tǒng)理論指導(dǎo)教師：沈繼紅20110615哈爾濱T程大學(xué)碩十學(xué)何論文ABSTRACTMicroMachinecallworkinnarrowspacewithoutdisturbingtheworkenvironmentandobjects，SOithasbroadapplicationpotentialinengineeringfie

2、ld，andhasdrawnworldwideattention。MicrofabricationtechnologyhasbecomeamaintrendofmodemprocessingtechnologyAtpresentmicromachineandmicrofabricationtechnologydevelopedfastButvariousmicroscopictheoryisstillatthestageofexplor

3、ationresearch，aridcompletemicroscopictheorysystemhasnotbeenfullysetup，micromachineandmicrofabricationtechnologyresearchstillmainlyrelyonexperienceandrepeatedstudyAndithasallimportantinfluenceonthefurtherdevelopmentofthem

4、icrofabricationtechniquesThispapertakesthepartitioningmethodtostudythethree—dimensionalsurfaceroughnessofmicroEDMItputsforwardthecorrespondingparameters，andestablishestheevaluationsystemofmicroEDMsurfaceroughness，providi

5、ngtheoreticalbasisforevaluatingthe3DsurfacesroughnessofmicroEDMThenitgivesthesurfacemorphologyofmicroEDMevaluationareaandpartitioningevaluationareaandtheirmeanandvariancearecalculatedLastthenormaldistributioninspectionun

6、iformdistributioninspectionandexponentialdistributioninspectionarecarriedonevaluationareaandpartitioningevaluationareasurfaceroughnessbetweenthepartitioningevaluationareasareinspectedandFriedmaninspectionandKendallinspec

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