基于PERL太陽(yáng)能電池技術(shù)的硅基PIN光電探測(cè)器的研究.pdf

1、最近二十年，現(xiàn)代信息技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用在農(nóng)業(yè)、工業(yè)、科學(xué)技術(shù)、國(guó)防及社會(huì)其他領(lǐng)域。事實(shí)上，以硅集成電路為代表的微電子產(chǎn)業(yè)一直是信息技術(shù)的核心部分和關(guān)鍵技術(shù)。隨著集成電路工藝向著小體積、高集成度、高速度的方向發(fā)展，傳統(tǒng)的使用電互聯(lián)的傳輸技術(shù)受到了嚴(yán)重的挑戰(zhàn)。傳輸延遲信號(hào)串?dāng)_、過高的電阻值等問題日益嚴(yán)重。光電子電路具有抗干擾、速度快、頻率高、集成度、低成本、制造工藝先進(jìn)等優(yōu)點(diǎn)，因此被認(rèn)為是解決電子設(shè)備向高頻率、高速度、高集成發(fā)展等這些技術(shù)瓶頸

2、的關(guān)鍵。
　　 硅光電二極管作為光電探測(cè)器的關(guān)鍵部件，對(duì)系統(tǒng)的光電性能具有至關(guān)重要的影響。長(zhǎng)期以來硅光電二極管響應(yīng)度一直不是很理想，如何在保證頻率響應(yīng)的同時(shí)，提高硅光電二極管的量子效率成為近年來研究的重點(diǎn)。本文將太陽(yáng)能電池中的PERL技術(shù)應(yīng)用在硅光電二極管上，并對(duì)其作了深入的研究。
　　 1.全面分析了PERL太陽(yáng)能電池的特點(diǎn)，對(duì)其關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的剖析，研究了這些技術(shù)在提高光電轉(zhuǎn)換效率方面的作用和應(yīng)用。
　　

3、 2.設(shè)計(jì)了一種具有較高響應(yīng)度的硅光電二極管結(jié)構(gòu)，該種結(jié)構(gòu)還可以復(fù)用成為一種高效率的硅發(fā)光二極管。在深刻理解PERL技術(shù)原理的基礎(chǔ)上，將PERL技術(shù)很好地應(yīng)用在了該結(jié)構(gòu)上。同時(shí)，還針對(duì)該結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)設(shè)計(jì)了一套完整的制備工藝，并對(duì)制備工藝進(jìn)行了研究了討論。
　　 3.在Silvaco、Athena、Atlas等軟件下對(duì)設(shè)計(jì)出的器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行了一系列仿真和模擬，獲得該光電二極管的大量性能參數(shù)。在仿真過程中，不僅討論了制備SiO2鈍化層的