2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)是一種新型的半導(dǎo)體激光器，與傳統(tǒng)的邊發(fā)射激光器相比這種激光器具有諸多優(yōu)點(diǎn)。傳統(tǒng)的VCSEL一般是P面出光，由于P面材料空穴有效質(zhì)量大而產(chǎn)生了大量的焦耳熱。影響了器件的性能。
　　針對(duì)這一問(wèn)題我們?cè)O(shè)計(jì)制備了N面出光倒裝貼片的980nmVCSEL器件，著重工藝的研究，主要包括：
　　(1)提出了一種新型輻射橋結(jié)構(gòu)電極的氧化物限制窗口，并為此設(shè)計(jì)了光刻版。
　　(2)刻蝕工藝中通過(guò)對(duì)比實(shí)驗(yàn)確定

2、了腐蝕液為H3P4：H2O2：H2O=1:1:10的磷酸溶液，在0℃時(shí)平均腐蝕速率為0.14μm/min。
　　(3)氧化工藝中通過(guò)對(duì)溫度與時(shí)間的漸變控制解決了芯片開(kāi)裂的問(wèn)題。
　　最后對(duì)器件做了性能參數(shù)的測(cè)試，器件在室溫下(22℃)工作的閾值電流為400mA，器件在30℃時(shí)的閾值電流最低，約為370mA；器件的峰值波長(zhǎng)為983.42nm，半峰寬度為0.92nm。當(dāng)注入電流為1.8A時(shí)器件達(dá)到了峰值功率730mW。光電轉(zhuǎn)換效

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