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文檔簡介
1、該文將微型系統(tǒng)和微操作系統(tǒng)統(tǒng)稱為微系統(tǒng).微型系統(tǒng)通常是指導外形很小的系統(tǒng),例如微電子機械系統(tǒng)(MEMS);微操作系統(tǒng)是指其操作尺度極小、精度很高的系統(tǒng),例如能進行細胞級操作的微操作機器人系統(tǒng).MEMS被譽為微電子技術(shù)發(fā)展的又一里程碑,是21世紀的關(guān)鍵技術(shù).由于微電子工藝制作周期長,而目前MEMS的研究主要還是依賴經(jīng)驗和反復試探,因而存在設(shè)計周期長、費用高等問題.細胞級微操作在微電子工程、生物工程等領(lǐng)域中越來越被廣泛的應用.由于微操作工具
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