IC測試系統(tǒng)中時(shí)間參數(shù)測量單元的研究.pdf

1、集成電路(Integrated Circuit,IC)測試是IC產(chǎn)業(yè)鏈中重要的構(gòu)成部分,應(yīng)用于IC的生產(chǎn)的整個(gè)過程,在保證產(chǎn)品性能、質(zhì)量上具有不可替代的作用。IC測試設(shè)備作為IC測試載體,對(duì)其研究將具有重要意義。
　　論文首先對(duì)IC測試系統(tǒng)中所包含的各個(gè)功能單元、通信管理機(jī)制等做了簡要概述,重點(diǎn)分析了IC測試系統(tǒng)中有關(guān)交流參數(shù)測量的功能單元,并且對(duì)功能單元涉及的關(guān)鍵技術(shù)和方法做了詳細(xì)研究,同時(shí)通過對(duì)功能單元工作原理的系統(tǒng)分析,設(shè)計(jì)

2、實(shí)現(xiàn)了硬件電路、驅(qū)動(dòng)電路以及面向用戶的測量指令,并通過實(shí)驗(yàn)分析驗(yàn)證了設(shè)計(jì)單元、測量指令的測試功能。
　　在IC測試系統(tǒng)中,交流參數(shù)也稱為時(shí)間參數(shù),因此實(shí)現(xiàn)交流參數(shù)測量的功能單元也稱為時(shí)間參數(shù)測量單元(time parameter measurement units,TMU)。時(shí)間參數(shù)測量單元以時(shí)間-數(shù)字轉(zhuǎn)換(time-to-digital converter,TDC)技術(shù)為基礎(chǔ),實(shí)現(xiàn)方式分為數(shù)字和模擬兩種,論文基于FPGA設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)

3、了具有2ns高分辨率的數(shù)字化TDC電路。在時(shí)間參數(shù)測量單元的硬件電路實(shí)現(xiàn)上,為了對(duì)待測信號(hào)的無損采集和高速處理,論文詳細(xì)討論了硬件電路測量通道的布局、元器件的選型、功能板電壓穩(wěn)定性分析、FPGA性能分析以及板級(jí)電路信號(hào)完整性分析等,在電路上實(shí)現(xiàn)了4路具備高壓測試能力和16路具備低壓測試能力的時(shí)間參數(shù)測量通道。在時(shí)間參數(shù)測量單元的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)中,基于總線實(shí)現(xiàn)了對(duì)硬件電路的驅(qū)動(dòng)控制,設(shè)計(jì)了4類時(shí)間參數(shù)測量的邏輯電路,完成了對(duì)時(shí)間參數(shù),如周期、脈