電子輻照在改善晶體管TS參數(shù)方面的計(jì)算機(jī)統(tǒng)計(jì)分析研究.pdf

1、利用電子束輻照是在改善功率雙極晶體管存儲時(shí)間TS方面已逐步取代中子輻照或鈷-60輻照的一種新興技術(shù)。在半導(dǎo)體器件制造中使用電子輻照能極大的改善雙極晶體管存儲時(shí)間TS的一致性,加快生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。09年3月深圳深愛半導(dǎo)體有限公司成立“電子輻照取代鈷-60輻照改善存儲時(shí)間TS均勻性”的項(xiàng)目組,作者被任命為小組組長,專門統(tǒng)籌負(fù)責(zé)整個(gè)工藝轉(zhuǎn)換工作。在項(xiàng)目開始之前,原來的輻照工藝一直延續(xù)的是建廠時(shí)的鈷-60輻照,在長達(dá)十幾年的生產(chǎn)過程中,

2、并沒有在輻照方面做任何調(diào)整。08年經(jīng)濟(jì)危機(jī)對半導(dǎo)體器件制造公司提出了更加嚴(yán)苛的要求,而存儲時(shí)間TS的控制更是各方廠家爭相拼搶的重點(diǎn)。在經(jīng)歷6個(gè)月項(xiàng)目運(yùn)作后,最終完成了項(xiàng)目確認(rèn)。整個(gè)項(xiàng)目運(yùn)作過程通過了解輻照加工行業(yè)的背景,研究了在實(shí)際生產(chǎn)工程中電子輻照作用于功率雙極晶體管的實(shí)際原理,通過結(jié)合自身公司產(chǎn)品輻照加工的試驗(yàn)數(shù)據(jù),制定出適用與具體生產(chǎn)的實(shí)際生產(chǎn)流程和工藝參數(shù),找出最佳的適用于生產(chǎn)實(shí)際操作的完備工藝流程。并經(jīng)6個(gè)月的項(xiàng)目運(yùn)行,通過后