基于打印聚合物薄膜的氨氣傳感器.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研究了采用打印技術(shù)制備氣敏傳感器的一種新工藝。該工藝具有低溫、低成本、制作工藝相對簡單并和硅基COMS工藝完全相容等特點(diǎn)。本文還提出了將該氣敏傳感器和集成電路芯片相集成的無線傳感系統(tǒng)設(shè)計框架。
  本文的主要研究內(nèi)容和成果是:
  1.研究了聚苯胺和聚吡咯對氨氣敏感“墨水”材料的制備,設(shè)計和制作了叉指電極阻抗型氨氣傳感器。
  2.研究了傳感器對氨氣響應(yīng)的直流特性,還研究了氨氣濃度和交流阻抗的關(guān)系。發(fā)現(xiàn)在150Hz

2、-2kHz左右的交流阻抗比直流阻抗要高近一個數(shù)量級,使傳感器的靈敏度大大提高。
  3.研究了聚苯胺和聚吡咯的摻酸比例對氨氣傳感器的敏感度的影響。當(dāng)對聚苯胺和聚苯胺的摻酸比例在0.1-1.5范圍之間時,發(fā)現(xiàn)隨著摻酸比例的下降,交流阻抗的變化量不斷地增加。
  4.研究了導(dǎo)電聚合物聚苯胺和聚吡咯材料對氣體敏感的選擇性,該材料對空氣和水汽基本上沒有響應(yīng)。結(jié)果表明基于聚苯胺和聚吡咯氨氣傳感器在一定的條件下具有實(shí)際的應(yīng)用前景。

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